20世紀70年代早期，發現了一種工業可利用的鉿和鋯，它能抗拒在氧氣等離子弧切割中因高溫而導致的電極材料快速燒損。氧氣作為一種等離子氣體引起了人們極大興趣。之后氧氣作為等離子氣體成為可能，氧氣等離子應用于碳鋼切割成為等離子弧切割技術的發展。氧氣等離子切割滿足了大范圍、無掛渣、高切割速度切割所需要的條件，在較低電流水平操作時，大幅提高切割速度，并且產生光滑、方正和更柔軟的切口邊緣。這種切口邊緣更容易進行彎曲或焊接加工。所有鋼板，包括高硬度低合金鋼在內，用這種新技術都可以實現基本無掛渣切割。20世紀90年代初，“精細等離子”概念進入市場，首次挑戰了激光市場。激光切割因其具有在保護準確的精度的同時產生高質量切口的能力，在金屬切割工業是等離子切割的一個重要的競爭對手。等離子設備的制造商們加大了其在設計方面的努力，以求進一步提高其設備的切割質量。通過極大地縮小噴嘴孔尺寸而產生極度壓縮弧，等離子切割獲得了與激光產品競爭所需的高能量密度。精細等離子系統已經成為金屬切割工業中與激光相競爭的先進的等離子產品。